美方讓步 中芯採購ASML設備

繼日前獲得美方設備供應許可後，大陸晶圓代工龍頭中芯國際3日再傳出，已成功向全球最大曝光機設備大廠艾司摩爾（ASML）下單購買設備。中芯3日在港交所公告，已斥資逾12億美元採購艾司摩爾晶圓生產設備，但中芯並未提及向艾司摩爾購買了何種設備，以及對方交付設備的時間。

綜合陸媒報導，儘管美方在半導體先進製程上仍未對中芯鬆綁，但在成熟製程上的放鬆已有利中芯的營運預估。大陸業內資深人士表示，中芯3日公告顯示，在美方有條件鬆綁下，除了EUV曝光機，中芯國際幾乎可以買到其他所有型號的曝光機，包括DUV（深紫外）曝光機。

報導指出，美國商務部在2020年12月18日以與中國軍方有關聯爲由，宣佈將中芯國際等80家陸企列入實體清單，今後沒有美方許可證，美企不得銷售10奈米及以下製程技術給中芯。中芯國際當時公告表示，預估被納入清單將對公司10奈米及以下先進製程的研發及產能建設，有重大不利影響。

之後中芯試圖突破美國封鎖線。2020年12月，有外媒傳出，在臺積電前營運長、中芯新任副董事長蔣尚義牽線下，中芯將尋求與艾司摩爾就EUV曝光機設備進行談判。

至2021年2月，據供應鏈人士的說法，大陸晶圓代工龍頭中芯國際的美國設備廠商，已獲得供應中芯14奈米及以上（14奈米及28奈米等成熟製程）的設備供應許可。摩根士丹利2月25日發報告指出，美國設備供應商近期已經恢復對中芯國際的零組件供應與現場服務，一定程度上緩解外界對於中芯消耗品儲備及設備的售後擔憂。