華爲開始投資光刻機領域 成第7大股東

華爲旗下的哈勃投資公司開始投資光刻機領域。(shutterstock)

據新浪科技報導，華爲旗下的哈勃投資公司開始投資光刻機領域，入股由中科院微電子所控股的科益虹源公司。

科益虹源的名字並不爲產業外的人熟悉，該公司的控股股東是中科院微電子所，持股26.6％，主要業務就是光刻機中的三大核心技術之一的光源系統，是大陸國內第一、全球第三的193nm ArF準分子雷射器企業。

從企業資訊來看，北京科益虹源光電技術公司日前發生了變化，註冊資金從1.2億元(人民幣，下同)增加到2.02億元，增長68％，主要是投資人多了，其中就有華爲旗下的哈勃投資，佔股4.76％，成爲第七大股東。

2020年4月份，科益虹源積體電路光刻光源製造及服務基地專案開工建設。該專案由北京科益虹源光電技術有限公司投資建設，總投資5億元，建築面積1.2萬平方公尺，年產RS222型光刻準分子雷射器、光刻用準分子雷射器、405光纖耦合頭等各類設備30臺（套）。